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季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目-季华实验室-政府采购意向

季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目-季华实验室-政府采购意向

采购意向 广东 - 广东 - 广东
发布于 2025-06-19

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季华实验室
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项目所在采购意向： ****点击查看2025年06月至2025年07月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： ****点击查看采购离子刻蚀机等设备项目
预算金额： 415.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况 ：
标的名称:RIE离子刻蚀机 标的数量:1 主要功能或目标:用于刻蚀CGH石英 需满足的要求:1.反应室容量：可容方形φ400mm，厚度40mm 2.刻蚀速度≥20nm/min； 3.刻蚀均匀性≤±5% 4.侧壁角90°— 85° 5.CDU≤5% 6.占空比50%±5% 7.配套冷水机、尾气处理装置
预计采购时间： ****点击查看
备注：
科研仪器设备

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

关键词
政府

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