广东省科学院半导体研究所多功能电子束仿真软件升级采购项目单一来源公示

结果-候选人公示广东 - 广州 - 天河区

发布于 2025-02-21

广州****公司

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采购编号：****点击查看发布时间：2025-02-20

一、项目信息

采购人：****点击查看

项目名称：****点击查看多功能电子束仿真软件升级采购项目

拟采购的货物或者服务的说明：

****点击查看（以下简称“采购人”）于2024年已通过国内公开招标的采购方式，向国内潜在供应商发出投标邀请，但最终未有三家投标人应标。团队最终通过国内公开招标转单一来源谈判的采购方式向英国Munro’s Electron Beam Software Ltd.（以下简称“Munro公司”）在中国境内唯一的授权销售总代理****点击查看购置了多功能电子束仿真软件（Munro’s Electron Beam Software，以下简称MEBS软件）的17个模块。采购人通过采购MEBS软件显著提升了科研条件和研发能力。现因“电子束关键尺寸量测显微镜（CD SEM）”项目需求，采购人需在已实施采购的MEBS软件17个模块的基础上新增WIEN和WIEN-REFINE模块（以及原有已采购软件中的9个模块授权使用），用于电子束光刻机及电子束关键尺寸量测显微镜设备的研制。新增模块的主要技术参数须满足以下条件：

（一）仿真电子运动轨迹精度：5nm；

（二）实现信号电子的偏转功能；

（三）实现三级像差计算分析。

此外，为满足采购人软件使用人数增加的需求，计划在已实施采购的17个模块的基础上新增1个用户权限（即新增1个USB加密狗），以进一步提升电子束光刻机、电子束量测显微镜等高端电子束装备的设计服务能力。

拟采购的货物或服务的预算金额（元）：353,932.00

采用单一来源采购方式的原因及说明：

（一）原因

根据《****点击查看财政厅关于规范省级单一来源采购方式审批和进口产品核准管理有关事项的通知》第一条的规定，本项目属于以下规定的第(1)种情形:

1.因货物或者服务使用不可替代的专利、专有技术，导致只能从某一特定供应商处采购的；

2.公共服务项目具有特殊要求，只能从某一特定供应商处采购的；

3.发生了不可预见的紧急情况不能从其他供应商处采购的；

4.必须保证原有采购项目一致性或者服务配套的要求，需要继续从原供应商处添购，且添购资金总额不超过原合同采购金额百分之十的；

5.公开招标数额标准以上的采购项目，投标（报价）截止后投标（报价）人仅有1家或者通过资格审查或符合性审查的投标（报价）人仅有1家的，经专家论证，采购文件没有不合理条款、采购程序符合规定的。

（二）说明

1.采购人热管理团队的主要研究方向为电子束技术及相关装备的研制。团队于2024年购置了MEBS软件中的17个模块，具体清单如下表所示：

序号	软件模块名称	数量	描述
1	OPTICS	1套	Electron beam column simulation
2	TOLERANCE	1套	Column tolerancing
3	REFINE	1套	Column optimization
4	DYNAMIC	1套	Dynamic correction elements design
5	ABER-5	1套	Upgrade to include 5th order aberration correction
6	REFINE-5	1套	Upgrade for automated optimization including 5th order
7	DYNAMIC-5	1套	Upgrade for design of dynamic correction elements including 5th order
8	SOURCE	1套	Electron gun design (electrostatic focusing only)
9	SOURCE-MAGNETIC	1套	Electron source designing (including magnetic focusing)
10	SOURCE-TOLERANCE	1套	Electron gun design to include tolerancing capabilities
11	SOURCE-CI	1套	Electron gun design to include Coulomb Interactions
12	PROJECTION	1套	Simulation of electron beam projection systems
13	3D-FIELD	1套	Three-dimensional field computations
14	3D-RAYTRACE	1套	Direct raytracing using Three-dimensional FD method
15	3D-SPACECHARGE	1套	Upgrade from 3D-RAYTRACE
16	SOFEM-FIELD	1套	2D second order field computation
17	SOFEM-RAYTRACE	1套	2D direct raytracing using second order FEM

目前，该软件仍处于正常运行状态，能够满足采购人对电子枪设计、静电和磁透镜设计、动态校正元件设计以及电子光学柱优化设计的需求。然而，采购人现有软件模块不具备电子束维恩滤波器设计的功能，因此需要在原基础上新增WIEN和WIEN-REFINE模块（以及原有已采购软件中的9个模块授权使用）以满足采购人的研制需求。WIEN模块主要用于维恩滤波器主光路的仿真设计，WIEN-REFINE模块主要用于维恩滤波器电子光路的自动迭代优化。新增模块在电子运动轨迹仿真精度方面达到5 nm，能够实现信号电子的偏转功能，支持包含圆透镜、多极透镜和维恩滤波器在内的电子束光柱体设计，并具备三级像差计算分析能力。这些功能将有力支撑电子束光刻机及电子束关键尺寸量测显微镜（CD SEM）设备的研制，可满足采购人团队的研究需求。此外，随着采购人团队的发展壮大，现有软件的使用人数不断增加，因此还需要在现有已实施采购的17个模块基础上新增1个USB加密狗，以满足采购人更多研究人员的使用需求。

2.MEBS软件是唯一由英国Munro公司研发的电子束技术领域内广泛认可的商业化设计软件。该软件采用二阶有限元方法，具有高精度特点，能够满足电子光学部件的电磁场计算、像差分析、轨迹追踪、电子光柱体系统设计和电子束维恩滤波器设计等多方面需求。目前，MEBS软件在国内市场竞争性较低，属于高度垄断产品，且暂无相关国产化替代软件能符合采购人目前的科研需求。由于MEBS软件是唯一由Munro公司研发设计的，Munro公司在中国地区目前只唯一授权了****点击查看作为销售总代理，其拥有自主知识产权和相关技术，其他公司或机构无法提供该技术指标的同类软件升级服务。

综上所述，采购人因需在现有MEBS软件17个模块的基础上新增WIEN和WIEN-REFINE模块以及新增一个USB加密狗以满足更多使用人数需求，而MEBS软件由Munro公司独家研发设计，其拥有自主知识产权和相关技术，软件功能新增、版本升级等技术服务均只有原厂能够提供。同时，Munro公司在中国地区唯一授权了****点击查看作为销售总代理。符合《****点击查看政府采购法》单一来源适用情况中“只能从唯一供应商处采购的”的情形及《****点击查看财政厅关于规范省级单一来源采购方式审批和进口产品核准管理有关事项的通知》“因货物或者服务使用不可替代的专利、专有技术，导致只能从某一特定供应商处采购的”的情形。基于上述原因，现拟采用单一来源采购方式向Munro公司在中国境内唯一授权的销售总代理****点击查看进行采购。

二、拟定供应商信息：

名称：****点击查看

地址：**市**区粤垦路68号801房（部位：801-5室）（仅限办公）

三、公示期限

2025年2月20日至2025年2月27日

四、其他补充事宜

五、联系方式

1.采购人

联系人： ****点击查看

联系地址：**市**区**路363号

联系电话：冯先生 020-****点击查看6075-8023

2.采购代理机构