超高真空原位处理系统采购项目采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1 全金属密封，超高真空兼容，腔体预留接口可与APRES腔体互联，以及预留可升级法兰；
1.2 配备中转台，可临时存储样品，中转台可旋转、可升降，电动控制；
1.3 腔体真空度优于5x10^-8Pa；
1.4 腔体配备型材支架；
1.5 配备放气气路；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

接受进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

2.1 配备1套离子泵，含配套电源
2.2 离子泵抽速300L/s；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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型号

无推荐型号

技术规格及参数

3.1 配备1套分子泵组;
3.2 分子泵抽速67L/s,前级泵为隔膜泵;

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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技术规格及参数

4.1 配备高功率红外激光加热，需对红外激光进行准直和聚焦，加热温度不低于1200°C，温度稳定性±0.1°C;
4.2 加热区域2英寸，温度均匀性1%；
4.3 加热系统可采用2种模式控温；
4.4 配备双波长红外测温仪，可保证温度测量的精确性；
4.5 配备摄像头，可监测测温与以及红外加热区域；
4.6 样品托采用耐高温金属制造，做绝热设计，防止热量损耗；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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型号

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技术规格及参数

5.1 样品台可在XYZ方向线性移动，其中XY方向移动范围±5mm，Z方向100mm，位移均由马达控制；
5.2 倾斜功能，角度范围90°，精度0.1°，由马达控制；
5.3 旋转功能，可连续旋转，角度范围360°，转速10rpm，同时可停留在任意角度，控制精度0.1°，马达控制；
5.4 样品台位移需配合红外激光加热做联动控制；

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导