福州大学
企业详情 >相似采购商 >

立即查看

立即引荐

立即监控
立即查看
立即引荐
立即监控
****点击查看真空镀膜机等设备采购项目 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | ****点击查看真空镀膜机等设备采购项目 |
预算金额: | 300.000000万元(人民币) |
采购品目: | |
采购需求概况 : | 采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:1、可在特定基板上蒸发沉积金属薄膜、有机薄膜、非金属薄膜以达到改善材料性能、保护材料表面和实现其他功能的目的,用于制备新型显示照明、半导体光电子等器件的电极和其他功能膜层的制备。2、用于科研项目执行中所需高均匀性、高附着力的金属膜、氧化物非金属膜、化合物膜、复合膜等薄膜功能材料的制备。 需满足的要求:1、基板最大支持 8 英寸晶圆;最大加热温度≥350℃;配置电子束蒸发源、离子源;真空性能:极限压力:≤3.0×10-5(Pa);压力上升:≤5.0×10-6(Pam3/sec);2、基板最大支持 8 英寸晶圆;支持多片式连续沉膜生长;靶材/基板距离可调:60~180mm;可溅射铝、钼、银、氧化物靶材单膜或多靶材共溅射,4个靶位; |
预计采购时间: | 2025-04 |
备注: | 无 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。