进口设备探针式轮廓仪（3D表面轮廓仪）采购申请成交公告

是否接受进口

接受进口

品牌

Bruker

型号

Dektak Pro

生产厂商

Bruker (Malaysia) Sdn Bhd

产地信息

马来西亚

技术规格及参数

1. 最大扫描长度≥180mm；
2. 测试所允许的最大样品高度≥50mm；
3. *垂直方向的扫描范围≥1000微米；
4. *测试高度方向的重复性＜0.4nm（1微米的标准台阶）；
5. 测试垂直分辨率≤0.1nm
6. XY移动载物台，X≥150mm行程,Y≥150mm行程；
7．样品台尺寸不小于8英寸，可360°自动旋转
8. 探针压力：1-15mg范围内可连续调节，能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。
9. 系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性
10. 提供专用分析软件并终身免费升级
11． 多次扫描分析≥15次
12. *仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性
13. *标配带有磁吸附自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上
14. 仪器具有三维扫描功能
15. *配有薄膜应力测量功能
16.具备测量10nm及以下厚度薄膜的能力

质保期

质保期1年

售后要求

为保证售后服务质量，****点击查看制造厂家授权文件。 报修电话及联系人：：刘工 电话：133****点击查看5329，招标人报修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。